Экспериментальный стенд для изучения характеристик мощных лазерно-плазменных источников ЭУФ излучения

Описана конструкция и характеристики стенда для изучения мощных лазерно-плазменных источников экстремального ультрафиолетового излучения. Для формирования лазерной искры использован импульсный Nd:YAG-лазер с длительностью импульса 5.2 ns, энергией импульса до 0.7 J и частотой повторения импульсов 10 Hz. В качестве мишени использована сверхзвуковая газовая струя Xe, формируемая с помощью конусного сопла, оснащенного импульсным клапаном. Диаметр критического сечения сопла 500 $\mu$m, длина 5 mm, полуугол раскрыва конуса 4.5$^\circ$. Для изучения лазерно-плазменных источников с высокой мощностью спланировано оснащение стенда конусными соплами с диаметром критического сечения 200–300 $\mu$m без импульсного клапана и лазерной системой, с частотой повторения импульсов 1 kHz и выше. Высокопроизводительная откачная система суммарной мощностью 9000 l/s позволяет поддерживать высокий уровень вакуума и проводить исследования в условиях, приближенных к условиям работы источников излучения для проектируемых литографов нового поколения.