Сверхпроводящий детектор проходящего сигнала

Описаны разработка и экспериментальное исследование оригинального сверхпроводящего СВЧ детектора проходящего сигнала на основе технологии RFTES, предназначенного для измерения сверхмалых сигналов в диапазоне СВЧ от 1 до 40 GHz и, возможно, выше. Устройство основано на использовании тонкопленочных сверхпроводящих микромостиков, работающих вблизи их критической температуры, что позволяет достичь высокой чувствительности к мощности проходящих сигналов порядка 10$^{-13}$ W при вносимом затухании менее -30 dB. Детектор представляет собой планарную интегральную структуру и работает при криогенных температурах. Представлены данные о структуре, параметрах изготовления и предварительных результатах исследования детектора проходящей мощности СВЧ на основе пленок ниобия и гафния, а также расчетные и измеренные данные, S-параметры экспериментальных образцов на частотах в районе 1.5 и 7 GHz при температурах в районе 100 mK.