Формирование микроструктур методами бесконтактной аэрозольной печати наночастицами

Проанализированы условия аэродинамической фокусировки аэрозольных потоков, обжимаемых потоком ограждающего газа, в условиях бесконтактной аэрозольной печати сухими наночастицами металлов и микроразмерными каплями чернил для формирования линий малой ширины на подложках. Численными оценками показано, что в процессах движения к подложке после выхода из сопла сферических наночастиц металлов при средних размерах более 70 nm числа Стокса достаточно высоки и отклонения их траекторий от оси потока составляют менее 1 $\mu$m, что подтверждает возможность использования аэродинамической фокусировки для печати сухими наночастицами. Аэрозольной печатью сухими наночастицами Au квазисферической формы получены массивы в виде линий шириной около 30 $\mu$m, показавшие высокое плазмонное усиление рамановского спектра низких концентраций красителя BPE (1,2-бис(4-пиридил)этилена) более 2 $\cdot$ 10$^4$. Аэрозольная печать квазисферическими наночастицами Ag с одновременным лазерным спеканием позволила сформировать монолитные высокопроводящие микроструктуры с достаточно низким удельным сопротивлением, превышающим всего в 2.2 раза удельное сопротивление крупнокристаллического серебра.