Установка ионно-пучковой коррекции и асферизации формы поверхности оптических элементов УИП-300

Описана установка ионно-пучковой коррекции и асферизации формы поверхности оптических элементов для индустриальных применений УИП-300. Машина оснащена тремя источниками ускоренных ионов (два с фокусировкой ионного пучка и один сильноточный широкоапертурный с квазипараллельным ионным пучком) и гониометром с пятью степенями свободы. Реализованная концепция подвижной детали позволила соединить в одной установке все методики ионно-пучковой обработки поверхности (полировка, асферизация, коррекция и предоперационная чистка), а также проводить обозначенные операции последовательно (без развакуумации камеры). Проведено тестирование источников ускоренных ионов, определены размеры ионного пучка и распределение ионного тока вдоль апертуры источников. Показано, что доступные размеры пучка от 2.1 до 25 mm и токи ионов от 0.3 до 40 mA позволяют проводить коррекцию формы поверхностей любой формы и габаритов как с малым, так и значительным съемом материала, и латеральными размерами неоднородностей от десятков миллиметров до сотых долей $\mu$m (диапазон пространственных частот до 9.5 $\cdot$ 10$^{-4}$ $\mu$m$^{-1}$).