Аннотация:
Теоретически исследуется кинетика формирования кластеров примеси внутри подповерхностных пор нанометрового размера в кристаллах. Разработана физическая модель выделения примесной фазы в порах нанометрового размера в образце, содержащем стоки различных типов. На основе модели проведен расчет кинетики отжига меди, содержащей подповерхностные поры и примесные атомы кобальта. Определены оптимальные условия отжига, при которых атомы кобальта диффундируют преимущественно в поры и образуют в них примесные кластеры.