С. Е. Никитин, Е. И. Теруков, О. И. Коньков, А. В. Бобыль, С. В. Тимофеев, “Измерение микроколичеств титана на развитой поверхности кремния с помощью ячеек на основе перфторированных протонпроводящих мембран”, ЖТФ, 2013, том 83, выпуск 5,страницы 147

Физические приборы и методы эксперимента

Измерение микроколичеств титана на развитой поверхности кремния с помощью ячеек на основе перфторированных протонпроводящих мембран

С. Е. Никитин^a, Е. И. Теруков^a, О. И. Коньков^a, А. В. Бобыль^a, С. В. Тимофеев^b

^a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
^b Акционерное общество "Пластполимер", г. Санкт-Петербург

Аннотация: Исследована методика измерения микроколичеств титана, находящегося на развитой поверхности кремния. Методика основана на растворении тонких слоев Ti в водных растворах фтористоводородной кислоты с последующим анализом полученных растворов с помощью потенциометрических ячеек на основе перфторированных протонпроводящих мембран. Показана возможность количественного определения не менее 5 $\cdot$ 10$^{-7}$ mol титана на поверхности кремния.

Поступила в редакцию: 23.08.2012