Компактный спектрограф на основе VLS-решетки для диапазона 3–20 nm

Разработан компактный спектрограф для мягкого рентгеновского диапазона на основе дифракционной решетки с переменной частотой штрихов (Variable Line Spacing или VLS), работающей в первом внутреннем порядке дифракции. Конструкция включает ряд инновационных решений, позволяющих добиться уменьшения габаритов спектрографа для большей мобильности, а также увеличения светосилы. Основные оптические элементы собраны на едином основании, что исключает рассогласование оптической схемы внутри спектрографа. В качестве детектора использована коммерческая КМОП-матрица GSENSE2020BSI 13.3 $\times$ 13.3 mm с размером пикселя 6.5 $\mu$m и высокой квантовой эффективностью регистрации в мягком рентгеновском диапазоне. В оптической схеме спектрографа присутствует фокусирующее зеркало с двухслойным отражающим покрытием Cr/C, что позволяет увеличить светосилу спектрографа. Проведены измерения дифракционной эффективности решетки в первом внутреннем порядке, которые совместно с расчетной зависимостью разрешающей способности от длины волны говорят о достаточно высокой четкости спектрального изображения источника. Приведены рентгенооптическая схема спектрографа, расчетные рентгенооптические характеристики, 3D-изображение и фото спектрографа.