Автоматизированная система для измерения формы поверхности крупногабаритных плоских и цилиндрических зеркал на интерферометре типа Физо

Описана автоматизированная система для измерения формы поверхностей зеркал с габаритами больше апертуры интерферометра Физо и цилиндрических зеркал на интерферометре Физо. Система построена на базе интерферометра Zygo Verifire с апертурой 100 mm. Образец установлен на моторизованную систему подвижек, осуществляющую линейное перемещение вдоль апертуры интерферометра и наклоны вокруг осей, перпендикулярных оптической оси интерферометра, и обеспечивающую перемещения, необходимые для проведения измерений методом сшивки субапертур. Сшивка осуществляется в конце измерений методом матрицы перекрытий. Система позволила определить систематическую ошибку измерений, в том числе ошибку эталона, методом одностороннего многократного сдвига и учитывать ее в измерениях, а также проводить измерения с повторяемостью на уровне 15 pm и точностью на субнанометровом уровне.