Исследование влияния параметров осаждения на структуру и физико-химические свойства защитных покрытий из Al$_2$O$_3$

Три серии образцов покрытий Al$_2$O$_3$ были получены методом микродугового оксидирования при различных условиях осаждения. Они были исследованы с помощью SEM-микроскопии с EDXS, RBS и рентгенофазового анализа XRD. Дефекты и поры в покрытии были исследованы методом позитронной аннигиляционной спектроскопии (PALS) при комнатной температуре, без вакуума. В процессе исследования не обнаружено образование нанометровых пор. Показано, что, меняя условия электролитно-плазменной обработки, можно изменять концентрацию и соотношение разного типа вакансионных дефектов в покрытии из Al$_2$O$_3$.