Иммиттансная спектроскопия высокого разрешения: приложение для исследования полупроводниковых приборов и оценка перспективности их применения в биоэлектронике

Продемонстрированы преимущества применения иммиттансной спектроскопии высокого разрешения (ИСВР) для диагностики полупроводниковых (ПП) приборов. Показано, что ИСВР позволяет не только получать классические вольт-фарадные (CV) характеристики ПП приборов, но и распознавать природу их электрических свойств, в частности, обнаруживать шунтирующие утечки в $p$–$n$-переходах. В результате сравнительного анализа ИСВР данных для ПП приборов и биоспецифичных электродов (биоэлектродов) продемонстрировано, что их спектры в общем случае хорошо описываются R-CPE цепочками, что может быть использовано при конструировании биоэлектронных приборов, использующих в своем устройстве как металлические, так и ПП электроды.