Аннотация:
Приведены результаты исследования эмиссионных характеристик импульсно-периодического излучателя барьерного разряда короткой длительности, работающего на полосе $\lambda$ = 248 nm KrF(X-B). Рабочей средой ультрафиолетовой лампы были малоагрессивные смеси криптона и элегаза при общем давлении в диапазоне 1–50 kPa и парциальном давлении элегаза 0.1–0.4 kPa. Приведены результаты исследования спектральных характеристик плазмы и оптимизации яркости излучения полосы 248 nm KrF(X-B) в зависимости от состава рабочей смеси, величины напряжения накачки и частоты следования импульсов. Выполнена оценка средней мощности ультрафиолетового излучения с боковой поверхности цилиндрической лампы.