Магнетронный разряд в среде аргона и кислорода при осаждении пленки оксида титана

Приведены результаты изучения разряда в плоском магнетроне с титановой мишенью. Установлено, что в среде аргона при постоянном токе увеличение давления от 2 до 6 mTorr приводит к увеличению возбуждения ионов аргона примерно на 20%. Возбуждение нейтральных атомов титана не зависит от давления аргона и определяется только током разряда. Вольт-амперная характеристика магнетрона в среде аргона и кислорода полностью отражает процессы, происходящие на мишени магнетрона.