И. А. Артюков, В. А. Бурцев, А. В. Виноградов, А. Ю. Девизенко, Н. В. Калинин, И. А. Копылец, В. В. Кондратенко, В. Е. Пуха, Б. А. Савицкий, Р. М. Фещенко, “Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения”, ЖТФ, 2012, том 82, выпуск 9,страницы 101

Эта публикация цитируется в 2 статьях

Приборы и методы эксперимента

Срезанные линейные зонные пластинки для жесткого рентгеновского излучения

И. А. Артюков^a, В. А. Бурцев^b, А. В. Виноградов^a, А. Ю. Девизенко^c, Н. В. Калинин^b, И. А. Копылец^c, В. В. Кондратенко^c, В. Е. Пуха^c, Б. А. Савицкий^c, Р. М. Фещенко^a

^a Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, 119991 Москва, Россия
^b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия
^c Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина

Аннотация: Рассмотрены линейные зонные пластинки для жесткого ($E>$ 10 keV) рентгеновского излучения на основе срезов многослойных покрытий W$_5$Si$_3$/Si, изготовленных методом магнетронного распыления. Из численных расчетов следует, что эта пара материалов обеспечивает высокую эффективность в первом и втором порядках дифракции. Экспериментально установлено, что возможен синтез многослойных структур высокого качества, содержащих сотни слоев на кремниевых и стеклянных подложках. Показано, что их срезы могут быть получены путем ионного травления многослойного покрытия через маску.

Поступила в редакцию: 12.12.2011