Особенности тензорезистивного эффекта в тонких металлических пленках в области упругой и пластической деформации

Изучены особенности тензорезистивного эффекта в одно- и двуслойных пленках Cr, Fe, Mo, Ni, Pd и Fe/Cr, Cu/Cr, Ni/Cr, Pd/Fe в области упругой и пластической деформации. Проанализирован вопрос о вкладе поверхностного и зернограничного рассеивания электронов в чувствительность к деформации однослойных пленок $S^{\rho}$. Проведено сравнение величины $S^{\rho}$ одно- и двуслойных пленок при упругой и пластической деформации. Сделан вывод, что в случае пленочной системы Fe/Cr основной вклад в величину $S^{\rho}$ вносит объемное и зернограничное рассеивание электронов. При этом зернограничное рассеивание одинаково эффективно как при упругой, так и при пластической деформации, о чем говорит большое значение коэффициента рассеивания электронов на границах зерен ($R\cong$ 0.36–0.41).