Краткие сообщения

Определение проецированного пробега ионов в полимерных резистах

К. А. Валиев, Л. В. Великов, А. С. Крамаренко, Г. С. Волков, А. И. Маслаков

Институт общей физики АН СССР, Москва

УДК: 537.534.9

Поступила в редакцию: 10.09.1986

Реферативные базы данных:

•