Напыление покрытий боридов, нитридов и силицидов с заданной морфологией и структурным совершенством

На основе данных рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии оценена роль относительного пересыщения, энергии упругой деформации нарастающей фазы и энергии адгезии на морфологию и ориентацию покрытий боридов, нитридов и силицидов. Представлена диаграмма, позволяющая качественно определять условия получения фаз с заданной морфологией и структурным совершенством.