А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, В. А. Лабунов, А. А. Шевченок, “Аккумулирование водорода порошками кремния в плазме ВЧ-индукционного разряда”, ЖТФ, 2011, том 81, выпуск 10,страницы 140

Эта публикация цитируется в 1 статье

Краткие сообщения

Аккумулирование водорода порошками кремния в плазме ВЧ-индукционного разряда

А. А. Ковалевский^a, А. С. Строгова^a, В. А. Лабунов^a, А. А. Шевченок^b

^a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, 220013 Минск, Белоруссия
^b Государственное научное учреждение "Институт порошковой металлургии", 220015 Минск, Белоруссия

Аннотация: Показана возможность наводораживания микро- и наноструктурированных порошков кремния в безэлектродной плазме. Установлено, что содержание водорода в объеме порошка определяется размером его частиц, давлением водорода в реакционной камере и величиной ВЧ-мощности. В основе механизма плазмохимического наводораживания лежит процесс химического взаимодействия атомов и активных радикалов водорода с поверхностью частиц порошка кремния, представляющую собой поверхность с нарушенным порядком упаковки атомов кремния.

Поступила в редакцию: 12.02.2011
Принята в печать: 22.03.2011