Анализ плазменного ускорителя УЗДП как источника подвижного локального воздействия в процессах распыления

В работе проведен анализ плазменного ускорителя с замкнутым дрейфом электронов и протяженной зоной ускорения как источника подвижного локального воздействия в процессах распыления материалов. Показано, что генерируемый УЗДП плазменный пучок может быть формализован в рамках модели точечного моноэнергетичного источника ионов, распространяющихся по прямолинейным траекториям с гауссовским распределением плотности ионного тока по сечению пучка. Представлены результаты определения энергетических, токовых и геометрических параметров плазменного пучка УЗДП и его функции воздействия.