Сечения торможения ионов азота с энергией 50–230 keV в кремнии, измеренные методом обратного рассеяния ионов

С целью развития метода диагностики тяжелых примесей в пленках нанометровых толщин методом обратного рассеяния тяжелых ионов (ОРТИ) измерена зависимость полного сечения торможения $\sigma_S(E)$ ионов азота с энергией 50–230 keV в кремнии. Полученная зависимость $\sigma_S(E)$ при энергии ионов ниже 150 keV занимает промежуточное положение между зависимостями, приводимыми в базах данных SRIM и MSTAR, а при более высоких – близка к первой. Оценки влияния неупругих процессов на определяемую величину сечения торможения показали, что для ионов азота влиянием этих процессов при исследовании тяжелых примесей в пленках методом ОРТИ можно пренебречь.