И. В. Блонский, А. А. Гончаров, А. В. Демчишин, А. Н. Евсюков, Е. Г. Костин, В. А. Сальников, А. Г. Терещенко, Л. Н. Ткаченко, “Исследование плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях синтеза пленок нитрида титана”, ЖТФ, 2009, том 79, выпуск 7,страницы 127

Эта публикация цитируется в 4 статьях

Приборы и методы эксперимента

Исследование плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях синтеза пленок нитрида титана

И. В. Блонский^a, А. А. Гончаров^a, А. В. Демчишин^b, А. Н. Евсюков^a, Е. Г. Костин^c, В. А. Сальников^a, А. Г. Терещенко^a, Л. Н. Ткаченко^a

^a Институт физики НАН Украины, г. Киев
^b Институт проблем материаловедения им. И. Н. Францевича НАН Украины, г. Киев
^c Институт ядерных исследований НАН Украины, 03680 Киев, Украина

Аннотация: Приведены результаты комплексного экспериментального исследования плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного компьютерного контроля всего спектра, излучаемого в видимом оптическом диапазоне плазмой разряда. Найдены оптимальные условия для синтеза бинарных соединений TiN, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности выбранных спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Проведена характеризация синтезированных пленок.

Поступила в редакцию: 04.03.2008
Принята в печать: 11.11.2008