Ионный синтез наночастиц серебра в вязкотекучей эпоксидной смоле

Представлена методика ионного синтеза наночастиц серебра в эпоксидной смоле, находящейся в вязкотекучем состоянии (вязкость 30 Pa $\cdot$ s). Ионная имплантация вязкотекучего и стеклообразного полимера проводилась ионами серебра с энергией 30 keV, плотностью тока в ионном пучке 4 $\mu$A/cm$^2$ в интервале доз от 2.2 $\cdot$ 10$^{16}$ до 7.5 $\cdot$ 10$^{16}$ ion/cm$^2$. В результате были сформированы эпоксидные слои, содержащие в своем объеме наночастицы серебра, которые исследовались методами просвечивающей электронной микроскопии и оптической абсорбционной спектроскопии. Установлено, что при использовании вязкотекучего состояния полимера удается повысить коэффициент диффузии имплантируемой примеси, что стимулирует зарождение и рост наночастиц при малых дозах имплантации и позволяет достигнуть более высоких значений фактора заполнения металлом полимера.