Аннотация:
На основе закона Томсона–Виддингтона предложен и обоснован механизм, объясняющий с единой точки зрения кинетику травления полимера и образования модифицированных слоев в плазме, генерируемой высоковольтным газовым разрядом вне межэлектродного пространства. Обнаружен эффект объемной модификации полимера, расширяющий представления о процессах, протекающих при его взаимодействии с низкотемпературной плазмой.