RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Математическое моделирование
// Архив
Матем. моделирование,
1998
, том 10,
номер 4,
страницы
13–22
(Mi mm1265)
Математические модели и вычислительный эксперимент
Математическая модель экранируемого напыления
Л. А. Севастьянов
Российский университет дружбы народов
Аннотация:
Анализ эффектов объемного экранирования в процессе вакуумного напыления на подложку произвольной формы показывает, что математическая модель во всех случаях описывается интегральным уравнением первого рода.
Поступила в редакцию:
27.08.1997
Полный текст:
PDF файл (833 kB)
©
МИАН
, 2024