Е. П. Жидков, Л. А. Севастьянов, “Макропараметры эффективного распределения и функции источника в математической модели экранируемого напыления”, Матем. моделирование, 1998, том 10, номер 9,страницы 35

Математические модели и вычислительный эксперимент

Макропараметры эффективного распределения и функции источника в математической модели экранируемого напыления

Е. П. Жидков, Л. А. Севастьянов

Российский университет дружбы народов

Аннотация: Рассмотрено существование единых (для совокупности близких по параметрам экранирующих масок и режимов напыления) эффективного распределения напыляемых частиц и функции источника, а также устойчивость этих величин к малым изменениям параметров экранируемого напыления.

Поступила в редакцию: 02.04.1998