О. И. Величко, Ф. Ф. Комаров, Н. М. Луканов, А. Н. Мучинский, Н. Л. Прохоренко, В. А. Цурко, “Моделирование диффузии примесей при термическом отжиге системы поликремний-кремний”, Матем. моделирование, 1997, том 9, номер 5,страницы 68

Эта публикация цитируется в 1 статье

Математические модели и вычислительный эксперимент

Моделирование диффузии примесей при термическом отжиге системы поликремний-кремний

О. И. Величко^a, Ф. Ф. Комаров^b, Н. М. Луканов^c, А. Н. Мучинский^d, Н. Л. Прохоренко^e, В. А. Цурко^d

^a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
^b Белорусский государственный университет
^c Научно-производственный координационный центр "Интерсигнал"
^d Институт математики НАН Беларуси
^e Институт технической кибернетики НАН Беларуси

Аннотация: Построена модель процессов переноса примесных атомов в системе поликремний-кремний, описывающая явление сегрегации примеси вблизи границы раздела фаз. Разработан алгоритм решения системы квазилинейных уравнений диффузии и проведены численные расчеты процесса совместной диффузии мышьяка и бора с учетом неоднородного распределения дефектов вблизи границы раздела фаз.

УДК: 681.3+519.6

Поступила в редакцию: 24.09.1996