Исследование дефектов силиконовых вафель методом дискретных источников

Работа посвящена исследованию задачи рассеяния света дефектом поверхности силиконовой подложки на основе метода дискретных источников. Рассмотрена проблема построения и реализации вычислительного алгоритма задачи. Приведены примеры сравнительного анализа рассеивающих свойств частицы и ямы на подложке.