Численное моделирование совместной диффузии примесей и точечных дефектов в кремнии

Предлагается численный алгоритм решения систем нелинейных уравнений многочастичной диффузии в двумерном приближении, основанный на построении аддитивных чисто неявных конечно-разностных схем. Приводятся результаты вычислительных экспериментов.