Аннотация:
Разработана физическая и математическая модель для описания процессов переноса в субмикронных многоэлектродных микровакуумных устройствах. Для детального описания динамики электронов в микровакуумных ячейках использован прямой метод моделирования – модель макрочастиц для цилиндрически-симметричных открытых систем. Построенная математическая модель реализована в виде программы для персонального компьютера и использовалась для моделирования процесса оптимизации протекания электронного тока в микроструктурах.