Задачи и средства математического моделирования технологии кремниевых интегральных схем

На примере термической диффузии охарактеризованы основные этапы развития физико-математических моделей технологии кремниевых ИС, параллельного эволюции сложности приборов, начиная с середины 70-х годов по настоящее время. Приведен сравнительный анализ программных комплексов для моделирования отдельных процессов и технологии ИС в целом. Рассмотрены особенности и области практического использования таких комплексов, созданных на основе одномерных и двумерных моделей процессов. Дан прогноз перспектив средств математического моделирования технологии ИС.