О законе приближенного изменения “птичьего клюва” в процессе окисления кремния при наличии маски

В статье рассматривается двумерная задача окисления кремния кислородом. В безразмерных параметрах показана автомодельность задачи. Найдены скорость движения остроконечной критической точки “птичьего клюва” и приближенно определены размеры “клюва”. Приведены результаты расчетов окисления кремния сухим и влажным кислородом.