Математическое моделирование процессов роста $\mathrm{GaAs}/\mathrm{AlGaAs}$ структур в проточных газоэпитаксиальных реакторах

Дан обзор математических моделей, используемых для численного исследования стационарных и нестационарных процессов в проточных газоэпитаксиальных реакторах. Рассмотрены модели течения, а также модели массопереноса при выращивании структур в системе алюминий-галлий-мышьяк из смеси триметилгаллий-триметилалюминий-арсин-водород.