Математическая модель емкостного разряда с учетом ион-нейтральных столкновений

Построена математическая модель низкочастотного емкостного газового разряда, учитывающая столкновения ионов с нейтральными частицами. Разработан алгоритм численного решения полученного уравнения. Проведены численные расчеты для различных параметров плазмы. Получены основные характеристики разряда, а именно, профиль потенциала и функция распределения ионов.