Возбуждение и распространение поверхностного поляритона при дифракции электромагнитной волны на планарной структуре

Рассмотрен процесс дифракции электромагнитной волны на границе раздела вакуум-металлполупроводник с возбуждением поверхностной волны. В рамках теории развит модовый метод расчета процесса взаимодействия излучения со структурой, позволяющий рассчитывать для фиксированного потока энергии возмущения потоки энергий, возникающих в процессах дифракции.