RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Наносистемы: физика, химия, математика // Архив

Наносистемы: физика, химия, математика, 2012, том 3, выпуск 5, страницы 33–41 (Mi nano702)

ФИЗИКА

Получение топограмм с использованием импульсного терагерцового рефлектометра

М. С. Куля, Я. В. Грачев, В. Г. Беспалов

Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Рассмотрены возможности экспериментальной установки регистрации временной формы импульсного ТГц излучения, отраженного от объектов (ТГц рефлектометр) для импульсной терагерцовой рефлектометрической томографии визуализации внутренней структуры объектов, прозрачных в ТГц диапазоне частот. Получены двух- и трехмерные топограммы тестового объекта, определены пределы разрешения данного метода. Выявлено, что пространственно-временная регистрация формы отраженных импульсов позволяет достаточно эффективно формировать топограммы поверхностей с глубиной рельефа в диапазоне от 1 до 1000 мкм.

Ключевые слова: импульсное терагерцовое излучение, томография, рефлектометрия, дефектоскопия.

УДК: 535-14



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024