Ю. Д. Акульшин, А. В. Глуховской, А. Н. Казакин, В. П. Козлов, А. В. Коршунов, И. М. Комаревцев, М. С. Лурье, Е. Н. Пятышев, “Технологии и разработки лаборатории НМСТ”, Научно-технические ведомости СПбГПУ. Информатика. Телекоммуникации. Управление, 2014, выпуск 5(205),страницы 53

SEMICON Россия 2014

Технологии и разработки лаборатории НМСТ

Ю. Д. Акульшин, А. В. Глуховской, А. Н. Казакин, В. П. Козлов, А. В. Коршунов, И. М. Комаревцев, М. С. Лурье, Е. Н. Пятышев

Санкт-Петербургский государственный политехнический университет

Аннотация: Представлены результаты работ лаборатории нано- и микросистемной техники СПбГПУ в области разработки технологий и МЭМС-преобразователей различного назначения.

Ключевые слова: технологии, МЭМС, датчики.

УДК: 621.3