Спектральные характеристики отражения микромассивов кремниевых нанопилларов

Проведено исследование спектральных характеристик отражения оптического излучения микромассивами кремниевых нанопилларов в видимом и ближнем ИК диапазоне. Микромассивы кремниевых нанопилларов формируются посредством электронно-лучевой литографии и реактивного ионного травления. Измерены спектры отражения микромассивов с периодом нанопилларов в массиве 400, 600, 800 и 1000 nm. Высота нанопилларов в массиве 0.5 $\mu$m, а диаметр варьировался от 150 до 240 nm. Отмечено, что спектральные особенности отражения обусловлены усилением поглощения отдельными нанопилларами и интерференционными явлениями, возникающими внутри массива. Установлена связь между геометрическими параметрами нанопилларов и особенностями резонансного отражения с учетом влияния подложки.