М. С. Ковалев, И. М. Подлесных, Р. И. Баталов, Н. Г. Сцепуро, С. И. Кудряшов, “Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца”, Оптика и спектроскопия, 2024, том 132, выпуск 1,страницы 42

Конференция ''Сверхбыстрые оптические явления (UltrafastLight-2023)'' 2-4 октября 2023 г., Физический институт имени П.Н. Лебедева РАН
Лазерная физика и лазерная оптика

Импульсный лазерный отжиг кремния, имплантированного ионами марганца

М. С. Ковалев^a, И. М. Подлесных^a, Р. И. Баталов^b, Н. Г. Сцепуро^a, С. И. Кудряшов^a

^a Физический институт им. П. Н. Лебедева Российской академии наук, 119991 Москва, Россия
^b Казанский физико-технический институт им. Е. К. Завойского, КазНЦ РАН, 420029 Казань, Россия

Аннотация: Описана методика импульсного лазерного отжига кремния, предварительно сверхлегированного атомами марганца с помощью ионной имплантации. Подобраны оптимальные режимы лазерного отжига, которые обеспечивали наилучшую кристалличность образцов. Проанализировано влияние импульсного лазерного отжига на некоторые оптические и структурные свойства сверхлегированных кремниевых пластин на основе спектров комбинационного рассеяния, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии, спектров инфракрасного поглощения в диапазоне волновых чисел от 700 до 1300 cm$^{-1}$.

Ключевые слова: импульсный лазерный отжиг, сверхлегирование, ионная имплантация, кремний, марганец.

Поступила в редакцию: 11.12.2023
Исправленный вариант: 09.01.2024
Принята в печать: 16.01.2024

DOI: 10.61011/OS.2024.01.57547.13-24