Интерферометрия абсолютных расстояний лазерных зондовых измерителей рельефа при гармонической девиации длины волны

Представлены результаты моделирования самосмешивающегося лазера (автодина) в качестве лазерного зонда для контроля микроперемещений. Предложен метод измерения абсолютного расстояния по отношению амплитуд гармоник спектра автодинного сигнала. Расчет проведен с использованием программной среды PyCharm IDE и программных модулей numpy и matplotlib. Вследствие неоднозначности функций Бесселя, входящих в алгоритм, для достоверного определения расстояния необходимо ограничить выбор спектральных составляющих областью однозначности, которая находится в конце значимой области спектра. Показано, что при уменьшении расстояния до отражателя необходимо увеличивать величину девиации длины волны лазерного излучения, чтобы набор измеряемых гармоник находился в области высоких частот. В диапазоне девиации от 0.1 до 1 nm на расстоянии от 50 до 100 mm точность измерений может достигать единиц микрон. Перспективность применения лазерного автодина обусловлена задачей разработки лазерных зондов для контроля микроперемещений в узком диапазоне расстояний до отражателя.