Методика определения коэффициента отражения в скользящем падении при использовании одноканальной схемы измерения

Измерение коэффициента отражения в скользящем падении является одним из основных методов для определения оптических констант материалов в диапазоне экстремального ультрафиолета. В настоящей работе описывается одноканальный метод такого измерения, в котором падающее и отраженное излучение, диспергированное в спектрометре скользящего падения, регистрируется одновременно при помощи CCD-матрицы. Предлагается алгоритм обработки спектрограмм, который основан на построении функции спектральной модуляции сигнала в спектре. Такой подход позволяет исключить влияние непрерывного спектрального фона на измеряемую величину коэффициента отражения. Разработанная методика была применена для обработки результатов эксперимента по измерению коэффициента отражения кремния при угле скольжения 5$^\circ$ в спектральном диапазоне 8–25 nm. В качестве спектрального прибора использовался спектрометр Quasi-Flat Field, источник излучения – быстрый капиллярный разряд.