RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Оптика и спектроскопия // Архив

Оптика и спектроскопия, 2024, том 132, выпуск 12, страницы 1240–1243 (Mi os1567)

Международная конференция ФизикА.СПб, 21-25 октября 2024 г., Санкт-Петербург
Оптика низкоразмерных структур, мезоструктур и метаматериалов

Анализ оптических характеристик дендритных наноструктур Ag на $c$-Si методом спектральной эллипсометрии

В. О. Большаков, К. В. Пригода, А. А. Ермина, Д. П. Марков, Ю. А. Жарова

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия

Аннотация: Методом химического осаждения из раствора AgNO$_3$ + HF получены дендритные наноструктуры серебра разной морфологии и средней высоты от 210 до 1030 nm на поверхностях кремниевых подложек. Модели Бруггемана, Таука–Лоренца, Гаусса и Друде использовались для анализа оптических свойств, толщины слоя и фактора заполнения при интерпретации экспериментальных эллипсометрических данных. В результате была получена хорошая сходимость экспериментальных и расчетных спектров действительной $\langle\varepsilon_1\rangle$ и мнимой $\langle\varepsilon_2\rangle$ частей комплексной псевдодиэлектрической проницаемости $\langle\varepsilon\rangle$.

Ключевые слова: спектральная эллипсометрия, дендриты серебра, кремний.

Поступила в редакцию: 27.04.2024
Исправленный вариант: 01.10.2024
Принята в печать: 30.10.2024

DOI: 10.61011/OS.2024.12.59801.6451-24



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025