Оптические свойства нестехиометрических оксидов титана

Исследованы оптические свойства нестехиометрических оксидов титана TiO$_{2-\delta}$ с различным отклонением от стехиометрии $\delta$. Пленки синтезированы методом ионно-лучевого распыления-осаждения. Состав пленок определен методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Установлена взаимосвязь оптических параметров $(n,k)$ пленок с параметром $\delta$. Обнаружено, что отжиг пленок состава $\delta\sim$ 0.58 $\pm$ 0.02 при температурах 350–600$^\circ$С приводит к существенному возрастанию поглощения в терагерцовой области спектра из-за роста в пленках (по данным сканирующей электронной микроскопии) кристаллов пластинчатой формы микронных размеров.