Влияние внутренней зарядки на возможность катодолюминесцентного профилирования: $\beta$-Ga$_2$O$_3$, имплантированный бором

Исследовано влияние электризации образца электронным пучком на интегральную интенсивность катодолюминесценции и на форму спектра излучения. Для этого на примере $\beta$-Ga$_2$O$_3$, имплантированного бором, проведено сравнение результатов измерения катодолюминесценции для трех серий экспериментов: поверхность исследуемого образца не заземлена, заземлена, покрыта проводящей заземленной плёнкой. Исследования показали, что даже при использовании металлической пленки накопление под ней заряда может искажать форму спектра. Такое искажение спектров при проведении катодолюминесцентного исследования с разрешением по глубине будет приводить к неправильному определению профилей концентрации дефектов. Сопоставление спектров, последовательно снятых при увеличении энергии электронного пучка и затем при уменьшении энергии, может быть предложено в качестве быстрого критерия оценки влияния зарядки на качество профилирования люминесцентных центров.