Прямая лазерная запись и исследование оптофлюидных элементов внутри нанопористой силикатной матрицы

Продемонстрирована прямая лазерная запись фемтосекундными лазерными импульсами ($\lambda$ = 1030 nm, $\tau$ = 220 fs, $\nu$ = 200 kHz) функциональных оптофлюидных элементов внутри нанопористой силикатной матрицы (НПСМ). Действие сфокусированных лазерных импульсов привело к уплотнению нанопористого каркаса, что позволило создать барьеры для изоляции нанопористых ячеек и канальные оптические волноводы. Также продемонстрирована запись микроканалов в режиме разуплотнения нанопористой матрицы с последующей очисткой продуктов разрушения в дистиллированной воде под действием ультразвука. Для каждого типа элементов установлены зависимости геометрических характеристик от энергетических параметров лазерного излучения. Отработаны методики тестирования элементов – проверка проницаемости барьера, ввод лазерного излучения в канальные волноводы.