Лазерное структурирование кварцевых стекол для создания элементов микрофлюидики

Исследовано влияние мощности и скорости сканирования лазерного излучения СО$_2$-лазера на поверхность кварцевого стекла для изготовления микроканалов и микрорезервуаров для задач микрофлюидики. Установлены зависимости размеров и шероховатости микроструктур от параметров лазерного излучения. Глубина микрофлюидных элементов достигает 45 $\mu$m с шероховатостью $<$ 40 nm. Для записанных микроканалов произведена оценка скорости распространения жидкости (до 15 mm/s). Оценена смачиваемость микрорезервуаров, где угол смачивания достигает 64 $\pm$ 7$^\circ$. Созданные элементы обладают высоким пропусканием ($T\ge$ 0.8) в видимом спектральном диапазоне.