Н. И. Стаськов, А. А. Сергейчик, А. Б. Сотский, А. Н. Петлицкий, В. А. Пилипенко, Л. И. Сотская, Д. В. Понкратов, Е. А. Чудаков, А. В. Шилов, “Оптические характеристики легированных бором кремниевых пластин после быстрого термического отжига”, Оптика и спектроскопия, 2025, том 133, выпуск 8,страницы 874

Оптические материалы

Оптические характеристики легированных бором кремниевых пластин после быстрого термического отжига

Н. И. Стаськов^a, А. А. Сергейчик^b, А. Б. Сотский^a, А. Н. Петлицкий^b, В. А. Пилипенко^b, Л. И. Сотская^c, Д. В. Понкратов^a, Е. А. Чудаков^a, А. В. Шилов^a

^a Могилевский государственный университет им. А. А. Кулешова, Могилев, Республика Беларусь
^b ГЦ "Белмикроанализ" НТЦ, ОАО "ИНТЕГРАЛ", Минск, Республика Беларусь
^c Белорусско-Российский университет, Могилев, Республика Беларусь

Аннотация: Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические свойства легированных бором кремниевых пластин КДБ-12 с одной матированной поверхностью, подвергнутых быстрому термическому отжигу. В алгоритме расчетов диэлектрической проницаемости полупроводниковой подложки исключено влияние известного поверхностного оксидного слоя. Рассчитаны ширина запрещенных зон и энергия Урбаха. Спектры действительной и мнимой частей диэлектрической проницаемости сдвинуты относительно соответствующих спектров c-Si в коротковолновую область. Полоса мнимой части диэлектрической проницаемости в области второй точки сингулярности состоит из нескольких полос.

Ключевые слова: спектры диэлектрической проницаемости, показатели преломления и поглощения, ширина запрещенной зоны, энергия Урбаха, легированный бором кремний.

Поступила в редакцию: 04.09.2024
Исправленный вариант: 07.05.2025
Принята в печать: 05.06.2025

DOI: 10.61011/OS.2025.08.61514.7045-25