Оптические коэффициенты пленок меди нанометровой толщины в диапазоне 9–11 GHz

Измерены коэффициенты отражения, пропускания и поглощения ультратонких пленок меди на кварцевой подложке в волноводе на частотах 9–11 GHz. Пленки толщиной менее 5 nm практически полностью окислены и прозрачны для СВЧ излучения. Проводящий слой формируется при толщине пленок, превышающей 5 nm, однако рост коэффициента отражения с толщиной в диапазоне 5–15 nm происходит медленнее, чем это следует из расчетов, использующих модельную проводимость сплошной пленки. Результаты могут быть объяснены морфологией пленок.