RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Оптика и спектроскопия // Архив

Оптика и спектроскопия, 2019, том 127, выпуск 4, страницы 586–593 (Mi os579)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Специальный выпуск ''Физическая оптика и спектроскопия: междисциплинарные исследования''
Прецизионные оптические измерения и метрология

Методика измерения параметров вогнутых крупногабаритных асферических зеркал с помощью датчика волнового фронта

Т. С. Пискунов, Н. В. Барышников, И. В. Животовский, А. А. Сахаров, В. А. Соколовский

Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 105005 Москва, Россия

Аннотация: Разработана методика измерения радиуса $R_v$ и эксцентриситета (параметра conic $k$) вогнутых крупногабаритных асферических зеркал с помощью датчика волнового фронта. Получены аналитические выражения, напрямую связывающие коэффициенты Цернике $a_{4}$ и $a_{9}$ с параметрами зеркала $R_{v}$, и $k$. Показано, что методика не требует точной юстировки зеркала перед измерениями. Проведенный компьютерный анализ показал, что разработанная схема позволяет осуществлять измерения с погрешностями $\delta R_{v}<0.1\%$ и $\delta k<0.01$ для зеркал с радиусами от $100$ до $2000$ mm, $\delta R_{v}<0.01\%$ и $\delta k<0.001$ для зеркал с радиусами более $5000$ mm.

Ключевые слова: асферическая поверхность, асферическое зеркало, метрология, датчик Шака–Гартмана, датчик волнового фронта, радиус кривизны, эксцентриситет, параметр conic, погрешности измерений, Zemax.

Поступила в редакцию: 30.05.2019
Исправленный вариант: 30.05.2019
Принята в печать: 04.06.2019

DOI: 10.21883/OS.2019.10.48362.167-19


 Англоязычная версия: Optics and Spectroscopy, 2019, 127:4, 639–646

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024