А. А. Сахаров, Т. С. Пискунов, Н. В. Барышников, И. В. Животовский, Е. Е. Мухина, М. В. Вязовых, “Исследование возможности измерения радиусов зеркал приборами с датчиками волнового фронта”, Оптика и спектроскопия, 2019, том 127, выпуск 4,страницы 594

Эта публикация цитируется в 1 статье

Специальный выпуск ''Физическая оптика и спектроскопия: междисциплинарные исследования''
Прецизионные оптические измерения и метрология

Исследование возможности измерения радиусов зеркал приборами с датчиками волнового фронта

А. А. Сахаров, Т. С. Пискунов, Н. В. Барышников, И. В. Животовский, Е. Е. Мухина, М. В. Вязовых

Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана, 105005 Москва, Россия

Аннотация: Разработана методика измерения радиусов кривизны оптических деталей. Предложена схема прибора на основе датчика волнового фронта, реализующего минимальную погрешность измерения. Приведено теоретическое обоснование методики измерений. Рассмотрен ряд способов, позволяющих измерять радиусы кривизны оптических деталей. Проведен анализ причин увеличения погрешности измерений. Рассмотрены результаты измерения по приведенной методике макетным образцом прибора, изготовленным авторами.

Ключевые слова: радиус зеркала, метрология, датчик Шака–Гартмана, датчик волнового фронта, радиус кривизны, методика измерений, погрешности измерений, Zemax.

Поступила в редакцию: 31.05.2019
Исправленный вариант: 31.05.2019
Принята в печать: 04.06.2019

DOI: 10.21883/OS.2019.10.48363.169-19