Спектроскопия тонких пленок оксида цинка вблизи края фундаментального поглощения

Представлены результаты исследования спектров оптического поглощения в тонких пленках оксида цинка ZnO, полученных методом реактивного катодного распыления. Наблюдаемое поглощение света в области энергий фотонов, меньших ширины запрещенной зоны, объясняется присутствием в запрещенной зоне хвостов плотности локальных состояний. Определены ширина запрещенной зоны и характеристическая энергия Урбаха. Установлено влияние особенностей структуры и примесного фактора на поведение полученных экспериментальных спектральных зависимостей.