Аннотация:
Исследована термостабильность поверхностного плазмонного резонанса в нанокомпозитных пленках $a$-С:Н$\langle$Ag$\rangle$ и $a$-С:Н$\langle$Ag+TiО$_{2}\rangle$. Пленки осаждали методом ионно-плазменного магнетронного распыления комбинированной графито-металлической мишени в атмосфере смеси аргона и метана. Структура и оптические свойства нанокомпозитных пленок изучались с помощью просвечивающей электронной микроскопии и оптической спектроскопии соответственно. Было обнаружено, что поверхностный плазмонный резонанс в пленках $a$-С:Н$\langle$Ag+TiО$_{2}\rangle$ сохраняется до температуры отжига 450$^\circ$C в атмосфере аргона, тогда как в пленках $a$-С:Н$\langle$Ag$\rangle$ поверхностный плазмонный резонанс исчезает при температуре отжига 350$^\circ$C. Было показано, что отжиг при 350$^\circ$C приводит к значительному увеличению диаметра наночастиц серебра в структуре пленок $a$-С:Н$\langle$Ag$\rangle$. В пленках $a$-С:Н$\langle$ Ag+TiО$_{2}$$\rangle$ наряду с появлением наночастиц серебра с большим диаметром присутствуют наночастицы серебра с малым диаметром, которые сохраняются после отжига при этой температуре. Более высокая термическая стабильность поверхностного плазмонного резонанса в пленках $a$-С:Н$\langle$Ag+TiО$_{2}\rangle$ объясняется наличием наночастиц TiO$_{2}$ в структуре пленок, которые ингибируют коалесценцию наночастиц серебра при высоких температурах.